晶圓框架 Wafer Frame

晶圓框架 Wafer Frame－標準品，由SUS 420 J2 材料，根據SEMI的尺寸規範製成，可依據您的要求採用髮絲面、亮面或特殊表面處理。我們還可以根據您的要求提供晶圓框架的雷射雕刻。

分類: 標籤:
尺寸 6"(150mm) 8"(200mm) 12"(300mm) 18"(450mm)
內徑 φ194±0.5 φ250±0.5 φ350+0/-0.5 φ506+0/-0.5
外徑 φ228±0.5 φ296±0.5 φ400+0/-0.5 φ575+0/-0.5
硬度 Hrc≥50
厚度 1.2±0.1 1.2±0.1 1.5±0.1 2.0±0.1
平整度 ≤0.2
材質 SUS 420 J2
表面處理 髮絲面、亮面或特殊表面處理

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