PFA Cassette

鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃,適合使用在需耐高溫條件下防粘和耐化學性領域,例如 強酸、強氟酸、強鹼,應用於FABRICATION廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

4″  PFA Cassette                                                         

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 142.2(L) x 125.4(W) x 114.3(H)mm

5″  PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 152.4(L) x 142.8(W) x 146(H)mm

5.2″  PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 163(L) x 142.3(W) x 151(H)mm

6″  PFA Cassette

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 : 143.3(L) x 177.8(W) x 171.4(H)mm

8″  PFA Cassette(高版) / 8″  PFA Cassette(矮版)

承載容量 : 25 pcs

產品尺寸 :

高版 203(L) x 233(W) x 218(H)mm

矮版 234(L) x 220(W) x 159(H)mm

12″  PFA Cassette

承載容量 : 13 pcs

產品尺寸 :350(L) x 180(W) x 320(H)mm

進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持

 

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